基于流量校准的吸附测量方法及误差分析
刘碧强,曹海山
Adsorption measurement method based on flow calibration and its error analysis
Biqiang LIU,Haishan CAO
表1
吸附测量系统的各平衡状态
Table 1
Various equilibrium states of the adsorption measurement system
平衡状态
工质
状态
气体分配系统
校准腔
样品室(包括过渡段)
气体吸附量
1
氦气
气体分配系统充气
p
1
,
T
1
0
,
T
1
0
,
T
1
0
2
氦气
连通校准腔
p
2
,
T
1
p
2
,
T
1
0
,
T
1
0
3
氦气
校准腔内加入校准球
p
3
,
T
1
p
3
,
T
1
0
,
T
1
0
4
氦气
连通加入样品后的样品室
p
4
,
T
1
0
,
T
1
p
4
,
T
1
0
5
氦气
调节样品室温度至测量温度
T
t
e
s
t
p
5
,
T
1
0
,
T
1
p
5
,
T
e
f
f
0
6
吸附气体
气体分配系统充气
p
6
,
T
1
0
,
T
1
0
,
T
1
0
7
吸附气体
连通加入样品的样品室,调节样品室温度至测量温度
T
t
e
s
t
p
7
,
T
1
0
,
T
1
p
8
,
T
e
f
f
n
a
d
s