基于流量校准的吸附测量方法及误差分析

基于流量校准的吸附测量方法及误差分析

刘碧强,曹海山

Adsorption measurement method based on flow calibration and its error analysis

Biqiang LIU,Haishan CAO

表3 基本参数设定

Table 3 Basic parameter set

参数	数值
恒温箱温度/K	$313.15$
校准腔容积/m³	$5.25 \times 10^{- 6}$
气体分配管路系统容积/m³	$1.05 \times 10^{- 5}$
压力测量误差限	±0.05%×量程
质量流量测量误差限	±0.2%×读数