摘要: 分析了热壁化学气相淀积反应器在流型、温度和浓度分布以及淀积速率等方面与冷壁反应器的异同,探讨了流动特性、传递过程和反应器几何尺寸对淀积过程的影响,为淀积不同薄膜时反应器的选型及设计提供了方法和依据.
丁平,袁渭康. 有限元方法求解化学气相淀积反应器模型(Ⅱ)——热壁反应器模型及反应器中流动及传递过程的分析 [J]. CIESC Journal.
Ding Ping and Yuan Weikang
(East China Institute of Chemical Technology, Shanghai 200237). NUMERICAL ANALYSIS OF CHEMICAL VAPOR DEPOSITION REACTORS (Ⅱ) ANALYSIS OF FLUID FLOW, HEAT AND MASS TRANSFER IN TWO-TYPE OF REACTORS[J]. .