摘要: 研究了电化学腐蚀法加工微探针的机理,建立了微探针成形的理论模型,提出实时控制加工微探针针尖曲率半径的新方法,发展了相应的控制加工技术。
中图分类号:
胡小唐,郭育,刘安伟,吉贵军. 微探针电化学加工机理及针尖尺寸控制技术 [J]. CIESC Journal.
Hu Xiaotang, Guo Yu, Liu Anwei and Ji Guijun(Department oj Precision Instrument Engineering ,Tianjin University,Tianjin 300072). MECHANISM OF MICRO-TIP ELECTROCHEMICAL ETCHING AND TIP RADIUS CONTROL TECHNIQUE[J]. .