基板温度对HFE7100液滴蒸发过程的影响研究

基板温度对HFE7100液滴蒸发过程的影响研究

陈爱强, 代艳奇, 刘悦, 刘斌, 吴翰铭

Influence of substrate temperature on HFE7100 droplet evaporation process

Aiqiang CHEN, Yanqi DAI, Yue LIU, Bin LIU, Hanming WU

化工学报 . 2023, (S1): 191 -197 . DOI: 10.11949/0438-1157.20221633