p型掺杂剂Cp<sub>2</sub>Mg在MOCVD气相中的反应机理研究

张红, 唐留

Study on reaction mechanism of p-type dopant Cp₂Mg in MOCVD gas phase

Hong ZHANG, Liu TANG

化工学报 . 2020, (7): 3000 -3008 . DOI: 10.11949/0438-1157.20191354