金属基极紫外光刻胶
陈昊, 陈鹏忠, 彭孝军
Metal-based extreme ultraviolet photoresist
Hao CHEN, Pengzhong CHEN, Xiaojun PENG
化工学报 . 2022, (8): 3307 -3325 .  DOI: 10.11949/0438-1157.20220583

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