MOCVD生长AlN单晶薄膜的气相和表面化学反应综述
何晓崐, 刘锐, 薛园, 左然
Review of gas phase and surface reactions in AlN MOCVD
Xiaokun HE, Rui LIU, Yuan XUE, Ran ZUO
化工学报 . 2023, (7): 2800 -2813 .  DOI: 10.11949/0438-1157.20230380

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