氢氧化四甲基铵腐蚀硅性能的改善
杨笛,余金中,陈少武,攀中朝,李运涛
An Improvement on Si-etching Tetramethyl Ammonium Hydroxide Solution
YANG Di, YU Jinzhong, CHEN Shaowu, FAN Zhongchao, LI Yuntao
CIESC Journal . 2005, (1): 48 -50 . 

版权所有 © 2019 《化工学报》编辑部
北京市东城区青年湖南街13号（100011）
电话：010-64519489，010-64519362，010-64519485，010-64519490，010-64519451
E-Mail：hgxb@cip.com.cn
京ICP备12046843号-7
京公网安备 11010102001995号
本系统由北京玛格泰克科技发展有限公司设计开发